掩膜版，是微电子制造过程中的图形转移母版，是平板显示、半导体、触控、电路板等行业生产制造过程中重要的关键材料。掩膜版的作用是将设计者的电路图形通过曝光的方式转移到下游行业的基板或晶圆上，从而实现批量化生产。

表：掩膜版下游行业及应用表

面板的世代数是按照产线所应用的玻璃基板的尺寸划分，总体来说，面板代数越高，面板的玻璃基板尺寸越大，切割的屏幕数目越多，利用率和效益就越高。号称“OLED行业光刻机”的FMM精密金属掩膜版（Fine Metal Mask，后简称FMM）长年受制于海外单一供应商的状态，近些年FMM国产化陆续出现新进展。

FMM是Fine Metal Mask的简称，中文名称为精细金属掩膜版，它是一层薄薄的金属，上面布满了密密麻麻的孔洞。在AMOLED面板制造流程中，为实现RGB子像素单独发光，蒸镀过程需要用到FMM。在蒸镀的时候，将FMM贴紧LTPS背板，将FMM上的孔洞对准需要蒸镀有机层的像素区，就可以在指定的像素区上沉积有机薄膜。

图：FMM工作原理：RGB通过FMM分别蒸镀

检测掩膜版的CD均匀性、套合精度、缺陷大小、洁净度等。

通过低倍物镜（5X-20X）实现快速全域扫描与可疑目标粗定位，利用高倍物镜（50X-100X）完成亚微米级精密检测。

相机：大靶面工业相机

传感器：慕藤光660nm线激光对焦传感MALF-7V

镜管：大视场镜管MT-M44-S

直线物镜切换器：MLC-5H（2XXXX(X）

图：慕藤光大视场多倍率自动对焦光学系统

图：FMM检测效果图

在新型显示产业国产化攻坚的决胜时刻，慕藤光智能成像光学系统已不仅是FMM检测的"火眼金睛"，更成为打破海外技术垄断的利器。当高效与精准成为产业突围的关键，这场技术攻坚既见证着国产替代的必然进阶，更昭示着中国显示产业在全球格局中的崛起之势。慕藤光以自主创新的光学智造力，持续赋能产业链核心环节，助力中国屏显点亮世界，重塑产业新格局。