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CoWoS:半导体技术的“超级积木”,如何重塑未来算力?
发布时间:2025-03-24 16:20:58 访问数:73

多维度芯片互连,从原理到应用,看懂改变游戏规则的新技术。

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01 

芯片封装与测试:半导体制造的关键“守门员”

在半导体产业链中,芯片封装与测试扮演着至关重要的角色,堪称芯片制造的“最后一公里”。简单来说,芯片封装就是通过特定的材料和工艺技术,对芯片进行安放、固定和密封,不仅能够保护芯片的“脆弱身躯”,还能将芯片上的接点与封装外壳相连,实现芯片内部功能的“对外输出”。而芯片测试则是确保封装后的芯片能够“持证上岗”,满足各项性能指标的“终极考核”。

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图:半导体Wire Bonding封装工艺示意图


从技术维度来看,集成电路封装主要肩负着四大使命:

  • 保护芯片:封装为脆弱的芯片提供物理保护,防止其受到机械损伤、湿气、灰尘和其他环境因素的影响。

  • 电气连接:封装通过引线或焊球将芯片的接点与外部电路连接起来,确保信号和电力的有效传输。

  • 散热管理:封装材料和技术有助于散热,防止芯片因过热而性能下降或损坏。

  • 尺寸适配:封装使芯片能够适应不同的应用场景和设备,满足各种尺寸和形状的要求



可以说,封装与测试环节直接决定了芯片的可靠性和性能表现,是半导体产业链中不可或缺的关键一环。


02

全球封装技术演进史:从通孔插装到3D封装的跨越式发展

封装技术的演进史,不仅是一部技术创新的编年史,更是一部电子产业不断突破极限、重塑未来的奋斗史。封装技术作为半导体产业的核心环节,经历了从1.0到5.0时代的跨越式演进:


全球封装技术向先进封装迈进

阶段

起始时间

封装形式

具体典型的封装形式

第一阶段

1970s以前

通孔插装型封装

晶体管封装(TO)、陶瓷双列直插封装(CDIP)、塑料双列直插封装(PDIP)、单列直插式封装(SIP)等

第二阶段

1980s以后

表面贴装型封装

塑料有引线片式载体封装(PLCC)、塑料四边引线扁平封装(PQFP)、小外形表面封装(SOP)、无引线四边扁平封装(PQFN)、双边扁平无引脚封装(DFN)等

第三阶段

1990s以后

球栅阵列封装(BGA)

塑料焊球阵列封装(PBGA)、陶瓷焊球阵列封装(CBGA)、带散热器焊热阵列封装(EBGA)、倒装芯片焊球阵列封装(FC-BGA)

芯片级封装 (CSP)

引线框架型CSP封装、柔性插入板CSP封装、刚性插入板CSP封装、圆片级CSP封装

第四阶段

20世纪末

多芯片组封装(MCM)

多层陶瓷基板(MCM-C)、多层薄膜基板(MCM-D)、多层印刷板(MCM-L)

系统级封装(SiP)、芯片上制作凸点(Bumping)

第五阶段

21世纪开始

晶圆级系统封装-硅通孔(TSV)、扇出型集成电路封装(Fan-Out)、三维立体封装(3D)


1.0时代(20世纪70年代前),通孔插装型封装主导市场,代表技术包括晶体管封装(TO)和陶瓷双列直插封装(CDIP),通过引线插入PCB板通孔的方式,满足了早期电子产品的需求。

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图:TO封装和CDIP封装


2.0时代(20世纪80年代),表面贴装技术(SMT)革命带来了塑料四边引线扁平封装(PQFP)和小外形表面封装(SOP)等创新,实现了更小尺寸和更高密度封装,推动了消费电子的快速发展。

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图:PQFP封装和SOP封装


3.0时代(20世纪90年代),见证了BGA与CSP技术的崛起,塑料焊球阵列封装(PBGA)和倒装芯片焊球阵列封装(FC-BGA)等核心创新提升了I/O密度,改善了散热性能,满足了高性能计算的需求。


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图:PBGA封装和BGA封装


4.0时代(20世纪末),多芯片组封装(MCM)时代来临,系统级封装(SIP)和芯片上制作凸点(Bumping)等技术突破实现了异质集成,推动了模块化设计的发展。SiP 可以将不同功能、不同工艺的芯片和元件整合到一个封装中,实现异质整合(Heterogeneous Integration)。这种封装技术在将多个芯片、被动元件(如电容、电阻)、连接器、电路等整合到一个封装体内,从而形成一个完整的系统。这种技术的出现是为了应对现代电子产品对小型化、高性能、低功耗和快速上市的需求。


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图:系统级封装SIP封装


5.0时代(21世纪),先进封装技术全面爆发,硅通孔(TSV)、扇出型封装(Fan-Out)和3D封装等前沿方向突破了摩尔定律的限制,支撑了高性能计算(HPC)、人工智能(AI)等新兴应用场景的发展。而CoWoS正是使用硅通孔(TSV)技术,通过在硅片中钻孔并填充导电材料,形成垂直的电连接通道,使得芯片可以在三维空间中进行高效通信。


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图:从Wire Bonding封装到TSV封装技术发展


TSV(Through Silicon Via,硅通孔)技术可以实现硅片内部垂直电互联,是实现2.5D、3D先进封装的关键技术之一。相比平面互连,TSV可减小互连长度和信号延迟,降低寄生电容和电感,实现芯片间低功耗和高速通信。


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图:TSV硅通孔技术


硅通孔(TSV)封装主要优势在于性能优越且封装尺寸较小。使用引线键合(Wire Bonding)芯片堆叠封装利用引线连接至各个堆叠芯片侧面,随着堆叠芯片以及连接引脚(Pin)数量增加,引线变得更加复杂,且需更多空间来容纳引线。相比之下,硅通孔芯片堆叠则不需要复杂布线,因而封装尺寸更小。


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图:引线键合(Wire Bonding)技术与硅通孔(TSV)技术对比


随着先进制程的重要性日益凸显,三星、英特尔等 IDM,日月光等 OSAT(外包半导体组装和测试)厂商都在发力先进封装。而采用了TSV硅中介层的关键技术 CoWoS,正在成为台积电在 AI 竞争中的又一个杀手锏,这项2.5D先进封装技术也随着AIGC引发的热潮,被推到了这场芯片革命的浪尖上。


03 

CoWoS:多维互连,突破传统"物理极限困境"


芯片封装由 2D 向 3D发展的过程中,衍生出多种不同的封装技术。其中,2.5D 封装是一种先进的异构芯片封装,可以实现从成本、性能到可靠性的完美平衡。


何为2.5D封装?

2.5D封装是将处理器、记忆体或其他晶片以覆晶方式,经微凸块以水平堆叠在硅中介层上,连结不同晶片的电子信号,再透过是中介层中的硅通孔(TSV)连结下方的金属凸块,再封装到基板上,使芯片与基板更紧密互连。从侧面图看,芯片虽然是堆叠起来的,本质还是水平封装,但芯片间距更近,芯片尺寸也更小。


2.5D 封装是一种先进的异构芯片封装,具备低成本、高性能和可靠性等优势。这种设计架构提供了更高的集成度和性能,允许多个芯片之间的高速数据传输和资源共享,从而实现了更强大的计算能力和更高效的能源利用。


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图:2.5D封装示意图


目前先进的CoWoS就属于2.5D封装,师出同门的还有InFO,这也成了NVIDIA发展AI芯片的最佳助攻手。


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图:2.5D封装与3D封装


何为CoWoS?

2008年台积电成立集成互连与封装技术整合部门,专门研究先进封装技术,重心发展扇出型封装InFO、2.5D封装CoWoS和3D封装SoIC。目前CoWoS 封装技术已经成为了众多国际算力芯片厂商的首选,是高端性能芯片封装的主流方案之一,该方案具备提供更高的存储容量和带宽的优势,适用于处理存储密集型任务,如深度学习、5G 网络、节能的数据中心等。


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图:台积电3DFabric技术平台


CoWoS(Chip On Wafer On Substrate)是一种2.5D的整合生产技术,其核心是将不同的芯片堆叠在同一片硅中介层以实现多颗芯片互联。具体而言,CoWoS由CoW和WoS组合而来:


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图:Chip-on-Wafer-on-Substrate



CoW:Chip-on-Wafer 芯片堆叠

WoS:Wafer-on-Substrate 芯片连接基板


CoWoS通过“三明治”结构将多个芯片(如CPU、GPU、HBM内存)集成到同一基板上,这个过程,我们称为:Chip on Wafer(CoW),即先将多个层芯片堆叠,通过的封装制程连接至硅晶圆。


利用硅中介层(Interposer)上的微米级金属线和硅通孔(TSV)实现高速互联,把CoW芯片与基板(Substrate)连接,即:Wafer-on-Substrate 芯片连接基板,最终整合形成CoWoS。


简单来说,它把传统“单层芯片”升级为“多层积木”,让不同功能的芯片协同工作,突破单一芯片的性能天花板。

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图:CoWoS封装技术


相比传统封装,CoWoS具备“高带宽”与“低延迟”两大核心优势:


  • 高带宽:CoWoS的互连密度提升10倍以上,带宽可达数百GB/s,功耗降低30%,可满足AI训练和推理对海量数据的吞吐需求。例如,英伟达H100 GPU通过CoWoS封装8颗芯片和12个HBM3,算力达到4000 TFLOPS。

  • 低延迟:芯片间距离缩短至微米级,信号传输延迟从毫秒级降至纳秒级,适合实时决策场景(如自动驾驶)。


CoWoS 作为 2.5D 多芯片封装技术,具备提供更高的存储容量和带宽的优势,适用于处理存储密集型任务,如深度学习、5G 网络、节能的数据中心等。CoWoS 封装技术已经成为了众多国际算力芯片厂商的首选,是高端性能芯片封装的主流方案之一


04

慕藤光智能成像光学系统助力先进封装检测


2.5D/3D先进封装技术,通过将多个芯片进行高密度集成,实现了更高的性能和更小的尺寸。然而,复杂的工艺也带来了诸多挑战,尤其是CoWoS,每个晶圆芯片在安装到中介层之前都需要单独测试,安装后还需要再次测试。除此之外,硅通孔 (TSV) 也需要测试,尤其大型硅中介层特别容易受到制造缺陷的影响,可能导致产量损失。


如果在堆叠之前,没有针对单一的裸晶做好合格的测试,而误将合格的A芯片跟失效的B芯片结合在一起,那么不只是做出来的芯片,不仅白白损失了前面的制程,更加浪费大量的人力、物力跟金钱,因此建立良率测试流程非常重要。


良率跟成本间的权衡,也是需要探究的问题。如果想要保证最佳的良率,最好的方式是每一道环节都进行测试,这样生产成本以及制造时间也会对应地增加,因此,要怎么测试,在什么时候测试,要做多少测试,是一门相当深奥的学问。


而慕藤光智能光学成像系统(包括:激光同轴检测光学系统、MCI计算光学系统、DIC微分干涉光学系统)等,贯穿了半导体全流程的检测,可在光刻、刻蚀、研磨等工艺后,对制程中各类表面图形缺陷及凸点缺陷进行快速检测,并根据客户所需要的精度和速度进行实时调整。


自动光学检测(AOI)

自动光学检测(AOI)是一种新兴的检测技术,在半导体产业化过程中被广泛应用。光学检测是通过提高相机的分辨率来提高检测精度的,但在视觉系统应用中,存在一些限制因素。AOI 引入了亚像素定位算法,可以实现像素细分,从而获得比图像分辨率更高的精度。AOI 系统通过自动扫描产品表面来捕获图像,并将图像与预先存储在数据库中的标准模板进行对比,通过设定的灰度和缺陷尺寸来检测产品表面缺陷。AOI 系统还可以集成白光干涉镜头、激光镜头,从而实现 3D 全自动测量功能。


在 TSV 转接板的制备过程中,光刻图形形貌与电镀表面质量直接影响下一个制程的制备。为了确保产品图形化后的质量和性能,AOI 系统必须具备μm级的全图形缺陷检测能力。在AOI检测设备中搭载慕藤光图像对焦传感器和MCI计算光学系统,能够精确地识别表面残胶、开路、黏附以及电镀层氧化导致的颜色异常等。此外,结合影像测量仪还可以实现胶厚测量、TSV孔深测量、凸点高度及其共面性测量。

主动式线激光检测

主动激光检测技术基于主动式激光对焦原理,向被测对象施加外部主动激励,激发其内部缺陷的温度分布响应行为,通过红外热像仪采集缺陷信息实现内部缺陷检测及量化分析。


慕藤光激光同轴对焦系统采用主动式自动对焦,通过传感器发射一束红外线或超声波,来感知并测量物体距离相机的距离,然后移动镜头来调整焦距,直到物体在取景器中清晰可见。对于应对TSV三维封装中底部空洞缺陷、填充缺失缺陷等各类缺陷及2.5D/3D复杂表面检测,具备分段式检测、快速对焦、实时成像的优势。

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结语

从“单芯片”到“芯片系统”,CoWoS不仅是封装技术的革新,更是对计算架构的重新定义。随着AI算力需求指数级增长,这项“超级积木”的封装技术将推动“超级芯片”从数据中心到终端设备(如自动驾驶、VR设备)的全面升级。


对于像慕藤光这样的智能光学系统上游企业而言,服务技术的领先性、国产替代能力、产业链协同性,将成为助力国产工艺升级迭代的最强“机器视觉”。


慕藤光凭借其快速对焦、实时跟焦以及全方位的高精度成像技术,为CoWoS等先进封装工艺提供了可靠的检测解决方案,助力国产半导体设备在高端制造领域实现突破。未来十年,CoWoS与3.D封装或将重新书写半导体产业的竞争格局,让我们共同期待做芯片时代的“弄潮儿”。

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